Bestimmung der Härtewerte von Gefügebestandteilen. Mit Prüfkräften unter 1,9 N, in vielen Fällen auch unter 0,1 N, können lokale Gefügebereiche geprüft werden (Bild 1).
Im Gegensatz zur Makro- und Kleinlasthärte, wo ein integraler Härtewert über große Bereiche des untersuchten Werkstoffs gemessen wird, liefert die Mikrohärte Härtewerte lokaler Gefügebestandteile (Bild 2).
Für Mikrohärtemessungen werden speziell dafür konzipierte Härteprüfmaschinen mit einem speziell ausgelegtem Belastungssystem und mit angepasstem optischen Vermessungssystem eingesetzt.
Eine sorgfältige metallografische Schliffpräparation (feingeschliffener Oberflächenzustand der Probe, Minimierung von Verfestigungen und Erwärmungseinflüssen) ist die Voraussetzung für ein reproduzierbares Prüfergebnis.
Damit ergeben sich folgende Anwendungsgebiete:
- Prüfung dünner Bleche, Folien und Schichten,
- Ermittlung von Härteverläufen im Querschnitt dünner Schichten (zum Beispiel Einsatzhärteschichten, galvanische Überzüge, Oxidschichten),
- Härtevergleich einzelner Gefügebestandteile,
- Untersuchungen von Diffusionsvorgängen,
- Orientierungsbestimmungen und Ermittlung von Texturen,
Untersuchung von Kriechprozessen.
Das Prinzip des Prüfablaufes einer Mikrohärtemessung ist dem einer Makrohärtemessung analog. Meist wird eine Vickerspyramide als Prüfkörper verwendet, aber auch Knoopindenter kommen zum Einsatz. Der Eindruck wird unter dem Mikroskop ausgemessen.
Im Bereich der Mikrohärte ist der ermittelte Härtewert von der Prüfkraft abhängig, das heißt Härtewerte, die mit unterschiedlichen Prüfkräften am selben Werkstoff ermittelt wurden, sind nicht mehr vergleichbar.