Bezeichnung für Katodenmaterial zur physikalischen Gefügekontrastierung von polierten Schliffproben durch Interferenzschichten.
Das Target besteht aus dem Schichtmaterial oder aus einer Komponente des Schichtmaterials. Es wird unter Vakuum zerstäubt und nachfolgend dünn auf der Probe abgeschieden. In einigen Fällen reagieren die freien Targetatome vor der Abscheidung mit Gasmolekülen, die in geringen Mengen in den Reaktor eingelassen werden.
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