Gefügetomographie

Bildgebendes Verfahren zur räumlichen Beschreibung komplexer Gefügestrukturen. Die 3D-Gefügeabbildung mittels FIB (Focused Ion Beam) und REM (Rasterelektronenmikroskop) basiert auf einer Serienschnitttechnik. Mit Hilfe des fokussierten Ionenstrahls (FIB) kann die Probe schrittweise mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern abgetragen werden. Die Querschnittsflächen werden dann mit Hilfe des REM abgebildet.