Messsystem zur Bestimmung der örtlichen chemischen Zusammensetzung einzelner Phasen im Gefüge einer Schliffprobe.
Ähnlich wie beim Elektronenmikroskop trifft ein energiereicher, scharf gebündelter Elektronenstrahl auf die zu untersuchenden Gefügebestandteile innerhalb der Schlifffläche. Dabei entsteht abhängig von der Elementzusammensetzung der Probe charakteristische Röntgenstrahlung, die mit einem Analysatorkristall in einzelne Spektrallinien zerlegt wird. Analog wie bei der Röntgenfluoreszenzanalyse wird die Intensität der Spektrallinien mit einem Geiger-Müller-Zählrohr gemessen. Dabei sind die in einer definierten Zeiteinheit detektierten Zählimpulse ein Maß für den Prozentgehalt des betreffenden Elements im untersuchten Probenausschnitt.
Mit der Mikrosonde lässt sich auch die Elementverteilung in einer definierten Messfläche bestimmen, indem der Elektronenstrahl über einen größeren Probenbereich bewegt wird. Man erhält dann sogenannte Verteilungsbilder von jedem der analysierten Elemente. Oft zeigen helle oder angefärbte Flächen beziehungsweise Punkte die Elementanreicherung an. Je stärker die lokale Einfärbung ist, desto höher ist der Gehalt des Elementes im untersuchten Probenbereich.
Der Krätzeeinschluss in einer Probe aus Gusseisen mit Kugelgraphit (Bild) weist eine höhere Konzentration an Sauerstoff, Silizium, Aluminium und Magnesium im Vergleich zur umgebenden Matrix auf.
