Oberflächenanalytische Verfahren liefern einen detaillierten Einblick in Bereiche Festkörperoberfläche, die mit dem Auge nicht mehr sichtbar sind und den chemischen und strukturellen Aufbau der Werkstoffoberflächen und der darauf befindlichen filmischen oder partikulären Schichten untersucht:
- Oberflächenchemie (chemische Zusammensetzung und Bindungszustand),
- Morphologie und Topologie (Kristallstruktur).
Die Oberflächenanalytik liefert nur Ergebnisse mit einer Informationstiefe von einigen Nanometern bis hin zu wenigen Mikrometern. Analysen in tieferen Werkstoffbereichen werden mit Schichtanalysen oder auch Tiefenprofilanalysen erzeugt.
Zu den Oberflächenanalysetechniken gehören die Rasterelektronenmikroskopie (REM), die Röntgenmikrobereichsanalytik (EDX) (REM-EDX-Analyse) und die XPS-Analytik (X-Ray Photoelectron Spectroscopy).
In der modernen industriellen Praxis wird die Oberflächenanalytik beispielsweise zur exakten Charakterisierung von Produktoberflächen, zur Materialprüfung, zur Schadensanalytik und zur Kontrolle von Prozessschritten eingesetzt.