Das Polieren der Probenoberfläche folgt auf das mehrstufige Schleifen und dient der Glättung der Schlifffläche. Außerdem wird durch das Polieren die nach dem Trennen und Schleifen vorliegende Deformationsschicht so weit reduziert, dass nach der Gefügekontrastierung das wahre (präparativ unverfälschte) Gefüge untersucht werden kann.
Der Abtrag der Oberfläche erfolgt beim mehrstufigen mechanischen Polieren schrittweise durch frei bewegliche Abrasivstoffe (zum Beispiel γ-Al2O3, SiO2 und Diamant), die in Form von Sticks, Pasten oder Suspensionen auf geeignete Poliertücher aufgebracht werden. Die Körnungen sind deutlich feiner im Vergleich zu den Schleifabrasiva.
Eine Glättung der Probenoberfläche kann auch chemisches, elektrochemisches oder mechanisch-chemisches Polieren erfolgen. Für das chemische Polieren werden die Schliffproben in relativ stark konzentrierte Säuremischungen getaucht. Beim elektrochemischen Polieren wird der chemische Abtrag durch Anlegen einer äußeren Spannung zwischen Probe und einer Gegenelektrode unterstützt. Ein kombinierter mechanisch-chemischer Abtrag der Schlifffläche erfolgt, wenn beim mechanischen Polieren außer der Poliersuspension noch tropfenweise ein geeignetes, stark verdünntes Ätzmittel zugesetzt wird.