Analysengerät auf der Grundlage der Röntgenfluoreszenzanalyse mit spektrometischer Auswertung. Die zu untersuchende Probe (fest, pulverförmig oder flüssig) wird mit Röntgenstrahlen hoher Intensität bestrahlt und dabei zu intensiver Fluoreszenzstrahlung angeregt. Diese Strahlung wird an einem Analysatorkristall mit bekanntem Netzebenenabstand spektral zerlegt und mit einem Detektor gemessen. Die Zusammensetzung der Probe lässt sich dann aus den unterschiedlichen Winkellagen der Spektrallinien qualitativ und aus den gemessenen Intensitäten quantitativ bestimmen. Die Analysendauer beträgt nur wenige Minuten, (EDX-Analyse).
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