Verfahren zur Oberflächenanalytik von Festkörpern aus der Gruppe der Photoelektronenspektroskopie (PES) zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung, sodass Aufbau, Eigenschaften und Veränderungen einer Oberfläche untersucht werden können. Das Messprinzip nutzt den äußeren Photoeffekt, wobei durch Röntgenstrahlung Photoelektronen aus der Oberfläche ausgelöst werden. Für die Messung werden die am Analysator ankommenden Elektronen detektiert und zu einem Spektrum, das die Intensität in Abhängigkeit von der kinetischen Energie der Photoelektronen darstellt, ausgewertet. Die Intensität ist proportional der Häufigkeit des Auftretens der verschiedenen Elemente.
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