Elektronenstrahlmikroanalyse

Verfahren zur quantitativen Analyse der lokalen chemischen Zusammensetzung von Gefügebestandteilen eines Werkstoffes mithilfe der Mikrosonde.

Elektronen mit ausreichender Energie können zum Beispiele im Rasterelektronenmikroskop innere Schalen der Probenatome anregen, so dass charakteristische Röntgenstrahlung emittiert wird. Diese ist für analytische Zwecke nutzbar, da sich aus der Energie der emittierten Röntgenquanten (EDX) oder aus der Wellenlänge der Röntgenstrahlung (WDX) die Ordnungszahl der ionisierten Atome bestimmen lässt. Je höher die Konzentration eines Elementes in der Probe ist, desto höher ist die Intensität seiner charakteristischen Röntgenstrahlung. Die Probe liefert also entsprechend ihrer chemischen Zusammensetzung ein Spektrum von Röntgenlinien mit unterschiedlicher Energie, Wellenlänge und Intensität. Da das durch den Elektronenstrahl angeregte Probenvolumen in der Größenordnung von wenigen µm³ liegt, kann beispielsweise die Zusammensetzung von Ausscheidungen dieser Größe bestimmt werden (analytisches Auflösungsvermögen).