Für die Erfassung der oben genannten Kennwerte werden sowohl licht- als auch elektronenmikroskopische – digital gespeicherte – Abbildungen herangezogen. Seltener erfolgen die Messungen direkt am Schliff im Lichtmikroskop oder an fotografischen Gefügeaufnahmen.
Als Messeinrichtungen werden manuelle Systeme sowie halb- und vollautomatische Systeme verwendet. Eine manuelle Zählung/Messung ist nur punktuell/stichprobenartig durchführbar, kann aber zum Beispiel für eine Bestimmung von gleichmäßigen Schichtdicken (Oxiden) sinnvoll sein. Halbquantitative Aussagen, wie zum Beispiel über Korngrößen, lassen sich über visuelle Vergleichsverfahren (Richtreihen) erlangen. Um genaue und statistisch abgesicherte Daten zu erhalten, werden halb- und vollautomatische Bildanalysesysteme eingesetzt. Dabei wird das licht- oder elektronenmikroskopische Bild von einem Bildwandler in geeignete elektronische Signale umgesetzt (binärisiert). Die Gefügebestandteile können nachfolgend aufgrund von Grauwertunterschieden auf einer beliebig großen Anzahl von Messfeldern identifiziert und vermessen werden.
Die wichtigsten quanitativen Messverfahren zur Gefügeanalyse sind die Punkt-, die Linear- und die Flächenanalyse.